|
|
|
|
|
|
Á¦ ¸ñ :
[ÀÎÅÚ] ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®, °í°³±¸À² ±ØÀڿܼ± µµÀÔÀ¸·Î Ĩ Á¦Á¶ ºÐ¾ß ¼±µµ |
|
ÀÛ¼ºÀÚ :
|
µî·ÏÀÏ : 2024-04-19 ¿ÀÀü 10:33:08 |
|
|
|
|
|
ÀÎÅÚ ÆÄ¿îµå¸®(Intel Foundry)´Â ¹Ì±¹ ¿À¸®°ÇÁÖ Èú½ºº¸·Î(Hillsboro, Oregon) R&D ±¸¿ª¿¡ À§Ä¡ÇÑ ¾÷°è ÃÖÃÊ »ó¾÷¿ë ¡®°í°³±¸À²(High Numerical Aperture, High NA) ±ØÀڿܼ±(Extreme Ultraviolet, EUV)¡¯ ³ë±¤Àåºñ(¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ½ºÄ³³Ê) Á¶¸³À» ¿Ï·áÇϸç ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ºÐ¾ß¿¡¼ Áß¿äÇÑ ÀÌÁ¤Ç¥¸¦ ´Þ¼ºÇß´Ù.
³ë±¤ ¼±µÎ¾÷ü ASML»ç Á¦Ç°ÀÎ ÀÎÅÚÀÇ ÇÏÀÌ NA EUV Àåºñ ¡®Æ®À©½ºÄµ EXE:5000(TWINSCAN EXE:5000)¡¯Àº ÀÎÅÚÀÇ Ã·´Ü °øÁ¤ ·Îµå¸Ê °³¹ß¿¡ »ç¿ëµÉ Áغñ¸¦ À§ÇØ ¿©·¯ Á¶Á¤(calibration) ´Ü°è¸¦ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. ÀÌ ½Å±Ô Àåºñ´Â ÀμâµÈ À̹ÌÁö¸¦ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ Åõ»çÇϱâ À§ÇÑ ±¤ÇÐ ¼³°è º¯°æÀ» ÅëÇØ Â÷¼¼´ë ÇÁ·Î¼¼¼ÀÇ ÇØ»óµµ¿Í ±â´É È®ÀåÀ» ȹ±âÀûÀ¸·Î °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉÀ» °®Ãß°í ÀÖ´Ù.
|
|
|
|
µ¡±Û¾²±â |
|
|
|
|
|
|
ÃÑ 121548ÀÇ
°Ô½Ã¹°ÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10|
|
|
|
|